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橡胶密封圈O型圈-全氟橡胶FFPM类别

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全氟橡胶(Perfluoroelastomer)

· 最佳耐热特性

· 优异的抗化学特性

· 低Outgassing 特性

· 优异之抗Plasma特性

· 耐低温特性较差

· 原料价格较高

· 生产难度较高 · 全氟系列产品广泛地运用于半导体产业及信息相关产业所运用, 运用范围包含薄膜制程中之PVC, CVD及蚀刻制程及各种高真空密封制程。

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